Мостяев Владимир, Дюжиков Валерий, Технология пьезо- и акустоэлектронных устройств
Научное издание

1993, изд-во: Ягуар, город: Москва, стр. : 280 с., обложка: Твердый издательский переплет, формат: Обычный, чуть увеличенный, состояние: Очень хорошее. Излагаются технологические процессы изготовления пьезоэлектронных (ПЭУ) и акустоэлектронных (АЭУ) устройств на объемных и поверхностных акустических волнах, в основном резонаторов и фильтров. Рассматриваются некоторые свойства кристаллов кварца, берлинита, лангасита, ниобата и танталата лития, методы обеспечения и оценки их качества, ориентации, механической и химической обработки кристаллических элементов и пьезоподложек, нанесения пленок, сборки, настройки и герметизации пьезоэлементов и элементов акустоэлектроники в устройствах регулирования и фильтрации частот. Особое внимание уделяется технологии изготовления новых элементов ПЭУ и АЭУ - тонкопленочным резонаторам и фильтрам. Рассчитано на научных работников и специалистов, занимающихся исследованием и производством пьезо- и акустоэлектронных устройств. Будет полезна студентам и аспирантам соответствующих специальностей