Колешко В., Ковалевский А., Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике

1978, изд-во: Наука и техника, город: Минск, стр. : 344 с., обложка: Твердый издательский переплет, суперобложка отсутствует, формат: Обычный, состояние: Очень хорошее (отсутствует суперобложка, разлом на титульном развороте). В книге сделан первый обзор практических и теоретических достижений в области создания и применения поликристаллических пленок кремния, германия, теллура, селена и соединений группы АIIIВV в микроэлектронике для изготовления полупроводниковых интегральных микросхем. Приведены данные по методам получения и кинетике роста, структуре, физическим и химическим свойствам поликристаллических пленок полупроводниковых материалов. Рассмотрены физические методы стимулирования процессов получения тонких пленок с использованием электрического поля, лазерного излучения, электронного облучения, УФ- и СВЧ-полей, ультра- и гиперзвуковых упругих колебаний. Предназначена для научных и инженерно-технических работников предприятий электронной промышленности, может быть полезна преподавателям, аспирантам и студентам, занимающимся вопросами физики тонких пленок, радио- и микроэлектроники. Таблиц 29. Иллюстраций 102. Библиография - 783 названия