1990, изд-во: Наука, город: М., стр. : 527 с., тир. 1520 экз., обложка: Издательский твердый переплет, формат: Обычный, состояние: Отличное. . Излагаются физические основы методов литографии, позволяющих получить структуры с субмикронными размерами. Освещаются вопросы электронно-лучевой литографии, физики источников электронов и электронной оптики, физики взаимодействия электронных пучков с веществом.
