Толливер Д., Новицки Р. и др., Плазменная технология в производстве СБИС. Пер. с англ.
1987, изд-во: Мир, город: Москва, стр. : 470 с., ил., обложка: Издательский твердый переплет, формат: Обычный, состояние: Отличное, но погашен библ. штамп и след от наклейки кармашка. . Монография ведущих специалистов США и Японии, в которой рассматриваются вопросы физики, химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС. Книга является своеобразной энциклопедией по физике и химии процессов осаждения, литографии и травления с применением ионно-плазменных методов.
