1974, изд-во: Советское радио, город: Москва, стр. : 200 с., обложка: Картонный переплет, формат: Обычный, состояние: Очень хорошее (небольшая потертость корешка и краев обложки). Книга представляет систематическое изложение теоретических и экспериментальных основ нового и быстро развивающегося прецизионного оптического метода исследования поверхностных свойств и процессов на границе раздела двух сред (фаз) - эллипсометрии. Излагаются необходимые сведения из теории отражения света от различных поверхностей, способы описания поляризованного света (не входящие в стандартные курсы физической оптики). Подробно рассматриваются все используемые в настоящее время схемы измерений в эллипсометрии, причем особое внимание уделено анализу различных схем на основе общего подхода. Приводятся сведения об аппаратуре, включая подробное рассмотрение вопросов калибровки приборов, чувствительности и точности. Излагаются методы интерпретации экспериментальных результатов, в частности с использованием ЭВМ и графических методов. Кратко обсуждаются возможности применения эллипсометрии в физике полупроводников (в частности - бесконтактное определение физических параметров), в физической электронике, в изучении процессов адсорбции, кинетики образования и роста поверхностных пленок, коррозии, в физической химии, в медицине и биологии. Книга рассчитана на инженеров и физиков-экспериментаторов, работающих в области физики и химии поверхностей, физики полупроводников, физической электроники. Она может служить в качестве руководства для студентов старших курсов и аспирантов указанных специальностей. Табл. 7, рис. 765, библ. 207 назв.
