Данилин Б.С., Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок.
1989, изд-во: Энергоатомиздат., город: М., стр. : 328 с. табл. 55, ил. 97, обложка: Издательский переплет, формат: Обычный, состояние: Близко к отличному. . Показана роль тонкопленочной технологии в производстве интегральных схем. Анализируются основные факторы, определяющие прецессионного распределения. . .
